廣東可易亞半導體科技有限公司

                            國家高新企業

                            cn en

                            新聞中心

                            電子成材器件以及如何讓電阻集成的原因

                            信息來源:本站 日期:2017-07-05 

                            分享到:

                            電子無源器件

                            ◆14.1.1  集成電路電阻

                            為了構成集成電路電阻,可以淀積一層具有阻值的薄膜在硅襯底上,然后運用圖形曝光技術和刻蝕定出其圖樣,也可以在生長于硅襯底上的熱氧化層上開窗,然后寫入(或是渙散)相反導電型雜質到晶片內,圖14.3閃現運用后者方法構成的兩個電阻的頂視圖和截面圖,一個是曲折型,另一個是直條型.

                            首要考慮直條型電阻.在距表面深為х處、平行于表面厚度dχ的p型材料薄膜層的微分電導dG(如B-B截面所示)為式

                            中w是直條的寬度,L是直條的長度(假定先忽略端點的觸摸面積),μp是窄穴遷移率,p為摻雜的濃度,這個直條型電阻的悉數寫入區的電導為



                            此處xi是結深度.假定",的值(為空穴濃度的函數)和p(χ)散布是已知的,則由式(2),可以求得悉數電導為



                            此處,一個正方形電阻的電導,也就是當L=w時,G=g.因此,電阻為

                            此處l/g通常用符號R口定義,稱為薄層電阻(sheet resistance,又稱為方塊電阻).薄層電阻的單位是Q,但習慣上以歐/方塊(Ω/口)為單位.

                            由如圖14.3所示的掩模版定義出不同的幾何圖樣,可同時在一個集成電路中制造出許多不同阻值的電阻.因為對所有電阻而言工藝步驟是相同的,因此將電阻值的大小分成兩部分是很方便的:由離子注入(或是擴散)工藝決定薄層電阻(R□);由圖樣尺寸決定L/W 例.一旦R口已知,電阻值可以由L/W的份額得知,或是由電阻圖樣中的方塊數目得知(每個方塊的面積為WXW).端點觸摸面積會添加額定的電阻值至集成電路電阻中,就圖)4.3中類型的電阻,每個端點觸摸對應到大概o.65個方塊.對曲折型電阻而言,在曲折處的電場線散布不是均勻地跨過電阻的寬度,而是密布于內側的轉角處.因此在曲折處的一個方塊并不精確地等于一個方塊,而是約為o.65個方塊.


                            聯系方式:鄒先生

                            聯系電話:0755-83888366-8022

                            手機:18123972950

                            QQ:2880195519

                            聯系地址:深圳市福田區車公廟天安數碼城天吉大廈CD座5C1


                            關注KIA半導體工程專輯請搜微信號:“KIA半導體”或點擊本文下方圖片掃一掃進入官方微信“關注”

                            長按二維碼識別關注